Search papers

Article details

  • Materiały Ceramiczne/Ceramic Materials
  • Vol: 62, Issue: 4, 2010
  • pp: 456-460

download: article (EN)

Deposition of PZT on Copper-coated Polymer Films

Abstract (EN)

In this work we analyze the deposition process of (111)-textured Pb(Zr,Ti)O3 (PZT) thin perovskite films directly on copper-coated polymer films. Cu thin films with a thickness of about 200 nm were deposited by DC sputtering in a reel-to-reel processing system onto Kapton® HN films with a thickness of 25 µm comprising an in-situ reactively sputtered dielectric TiO2-x adhesion layer. PZT thin films with a thickness of 200 to 400 nm were deposited using a pulse-modulated RF plasma jet system consisting of a hollow cathode for reactive sputtering.

Keywords (EN): PZT thin films, Plasma jet, Deposition, Reactive suttering

Osadzanie PZT na powłokach polimerowych pokrytych miedzią

Suchaneck G., Volkonskiy O., Gerlach G., Hubička Z., Dejneka A., Jastrabik L., Günther S., Schultheiss E.

Abstract (PL)

W pracy analizujemy proces osadzania cienkiej powłoki perowskitowej, złożonej z Pb(Zr,Ti)O3 (PZT) o teksturze (111), bezpośrednio na powłokach polimerowych pokrytych miedzią. Cienkie powłoki Cu o grubości około 200 nm zostały osadzone za pomocą stałoprądowego  rozpylania jonowego, w układzie przetwarzania szpula na szpulę, na powłoki Kapton® HN o grubości 25 µm, zawierające in-situ reakcyjnie rozpyloną adhezyjną warstwę dielektryczną TiO2-x. Cienkie powłoki PZT o grubości od 200 do 400 nm osadzano przy pomocy układu z palnikiem plazmowym modulowanym impulsowo z częstotliwością radiową (RF), zawierającego katodę wnękową, przeznaczoną do rozpylania reakcyjnego.

Keywords (PL): powłoka PZT, palnik plazmowy, osadzanie, rozpylanie reakcyjne

return…